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HJT 47—1999 煙氣采樣器技術(shù)條件
[2022-03-18 15:40:33]
HJT 47—1999 煙氣采樣器技術(shù)條件.pdf1范圍
本標準規定了采樣器的技術(shù)要求、檢測項目、試驗方法。
本標準適應于測定固定源排氣中煙氣有害成分SOz、NOx等含量的采樣器。
2引用標準
下列標準所含條文，在本標準中引用即構成本標準的條文，與本標準同效。 GB 6 587. 7—86電子測量?jì)x器基本安全要求
GB/T 16 157—1996固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法 ZBY 120-83工業(yè)自動(dòng)化儀表工作條件 溫度、濕度和大氣壓力 當上述標準被修訂時(shí)，應使用其最新版本。
3采樣器的組成及分類(lèi)
3.1組成
采樣器由采樣管、導氣管、吸收裝置、干燥器、流量測量與控制裝置和抽氣泵等部分組成。
3.2分類(lèi)
采樣器按計量采氣流量的流量計分為三類(lèi)，見(jiàn)表L
表1采樣器分類(lèi)
名稱(chēng)
限流孔采樣器
累積流量計采樣器
轉子流量計采樣器
流量計
限流孔
干式或濕式累積流量計
轉子流量計
4采樣器組成部分技術(shù)要求
4-1采樣管
4-1-1采樣管可制造成以下兩種型式，見(jiàn)圖L
(a) (b)圖1加熱式煙氣采樣管 4-1-1-1 a型采樣管:適用于不含水霧的氣態(tài)污染物的采樣。
4-1.1.2 b型采樣管*在氣體入口處裝有斜切口的套管，同時(shí)裝濾料的濾塵管也進(jìn)行加熱，套管的作用 是防止排氣中水滴進(jìn)入采樣管內，濾塵管加熱是防止近飽和狀態(tài)的排氣將濾料浸濕，影響采樣。
4-1.2采樣管的材料應選用耐高溫、耐腐蝕和不吸附被測氣體的材料。
4-1-3采樣管前端應能填入濾料以阻留塵粒，防止顆粒物對煙氣吸收的干擾。
4-1-4采樣管應設有加熱、保溫裝置，整體溫度控制在I3o+io°c和i50±l(rc兩檔，并有溫度顯示裝置。 加熱電壓電源一般應取36 V安全電壓，若用高電壓做加熱電源，則應設有保安措施，防止人身觸電。
4-1-5采樣管中的氣體導管內徑應不小于6 mm,采樣管長(cháng)度一般不宜短于800 mmo
4.2導氣管
4?2- 1吸收裝置離采樣管出口較遠的儀器，應采用加熱式導氣管連接采樣管出口與吸收裝置。加熱式導 氣管的內管應選用耐熱、耐腐蝕和不吸附被測氣體的材料，管的內徑應不小于6 mm,管外包裹絕緣保溫 材料，外管用絕緣性、柔軟性好的材料。導氣管整體應設有加熱、保溫裝置，整體溫度控制在14CTC以上, 長(cháng)度一般不宜短于2000 mm。
4- 2- 2吸收裝置緊靠釆樣管出口的儀器，直接用不吸附被測氣體的軟管連接釆樣管岀口與吸收裝置。管 的內徑應不小于6 mm,長(cháng)度應不超過(guò)100 mm。
4-3吸收裝置
4- 3-1吸收氣路由兩只串聯(lián)的多孔玻板吸收瓶組成。吸收瓶采用標準磨口，要 嚴密不漏氣，鼓泡要均勻，在單個(gè)吸收瓶裝有50 ml蒸饞水，抽氣流量為
0. 5 L/min時(shí)，單個(gè)吸收瓶的阻力應為5. 0±0.7 kPa。吸收瓶與氣路的連接要拆 裝方便，密封性能好。多孔玻板吸收瓶見(jiàn)圖2。
4-3-2要設有與吸收氣路并聯(lián)的旁路吸收裝置，用來(lái)在采樣之前洗滌氣路。
4. 3- 3放置吸收瓶的采樣盒應便于拆裝、防漏、防腐蝕和便于更換降低吸收液 溫度的冷卻劑。
4-4干燥器
保護流量計和抽氣泵的干燥器應便于拆裝及更換吸濕劑，其有效容積應不 小于200 cm3,氣體出口應裝有濾料，防止吸濕劑塵粒飛散，裝料口處應有密封
圈。
4.5流量測量與控制裝置 4-5.1限流孔采樣器
4-5-1-1采樣器應安裝轉子流量計；在限流孔入口應裝有真空壓力表，用于對限流孔進(jìn)行流量較正；在 限流孔岀口也應裝有真空壓力表，用于判斷采樣系統是否處于保持恒定流量的臨界狀態(tài)。
4- 5-1-2轉子流量計.指示采樣器的工作情況，流量范圍0?L5 L/min。
4- 5.1.3真空壓力表。限流孔入口真空壓力表，真空度量程上限應不大于50 kPa,精確度應不低于 2.5%,最小分度值應不大于1 kPa；限流孔出口真空壓力表量程范圍0?一0.1 MPa,精確度應不低于 2-5%,最小分度值應不大于5 kPa。
4-5-1-4限流孔。在環(huán)境溫度2(rc,大氣壓101 325條件下，系統負載阻力10 kPa時(shí)，流量范圍0.45- 0. 55 L/min o標定精確度應不低于2.5%,電源電壓波動(dòng)±10%,流量波動(dòng)應不大于士 5%。限流孔前應 安裝過(guò)濾器，過(guò)濾器內徑為25?40 mm,濾料孔徑為L 2?2.0//m,以阻留塵粒。當用濾膜作為濾料時(shí)， 其后應有支撐網(wǎng)托，以防濾膜被抽破。限流孔溫度保持在45±2DC恒溫狀態(tài)。
4-5-2累積流量計采樣器
4-5-2-1采樣器應安裝有流量調節閥的轉子流量計；在轉子流量計入口應裝有真空壓力表；累計流量計 的入口應裝有溫度計，用于對累積流量計進(jìn)行流量校正。
4.5. 2. 2轉于流量計?？刂撇蓺饬髁?，流量范圍0?1.5 L/min,精確度應不低于2.5%。
4. 5.2.3真空壓力表。用于采樣器氣密性檢査，量程范圍0?一0.1 MPa,精確度應不低于2.5%。
4- 5- 2-4溫度計。測量通過(guò)流量計氣體的溫度，測量上限應不大于ioo°c,精確度應不低于2.5%,最小
分度值應不大于2。(3。
4.5. 2.5累積流量計。流量計精確度應不低于2.5%,最小分度值應不大于0. 05 Lo電源電壓波動(dòng)士 10%，流量波動(dòng)應不大于士5%。
5.2.6要求流量調節閥操作靈活，對流量控制均勻，流量波動(dòng)保持在士頂％以?xún)取?/span>
4-5-3轉子流量計采樣器
4. 5. 3.1采樣器應安裝有流量調節閥的轉子流量計；在轉手流量計入口應裝有真空壓力表和溫度計，用 于對轉子流量計進(jìn)行流量較正。
5- 3- 2轉子流量計?？刂坪陀嬃坎蓺饬髁?，技術(shù)要求與4.5.2. 2條相同。電源電壓波動(dòng)士 10%,流量 波動(dòng)應不大于士5%
5. 3- 3溫度計。技術(shù)要求與4. 5. 2. 4條相同。
a. 5- 3-4真空壓力表。測量通過(guò)流量計氣體的壓力，真空度量程上限應不大于50 kPa,精確度應不低于 2.5%,最小分度值應不大于IkPa。
4- 5- 3- 5與4. 5. 2. 6條要求相同。
4- 6抽氣泵
4. 6- 1累積流量計采樣器和轉子流量計采樣器。當采樣系統負載阻力為20 kPa時(shí)，抽氣泵抽氣流量應不 低于1-OL/min,當流量計量裝置放在抽氣泵岀口端時(shí)，抽氣泵應不漏氣。
4. 6. 2限流孔采樣器。在零海拔高度，大氣壓101 325條件下，采樣系統負載阻力20kPa時(shí)，抽氣泵抽 氣能力足以使限流孔出口真空度不低于70 kPa。
5整機技術(shù)要求
5- 1外觀(guān)
b. 1-1采樣器應有制造計量器具CMC標志和產(chǎn)品銘牌，銘牌上應有儀器名稱(chēng)、型號、生產(chǎn)單位、出廠(chǎng) 編號、制造日期。
1-2采樣器應完好無(wú)損，各旋鈕無(wú)松動(dòng)和破損，各零部件應齊全并且連接可靠，不應有銹蝕及損傷, 各操作鍵、鈕靈活、定位正確。各顯示器部分的刻度數值應清晰，涂色牢固，不應有影響讀數的缺陷。
2重復性
在同一流量下分別連續獨立測量6次，其重復性應不超過(guò)2%。
5-3氣密性
采樣器的整個(gè)氣路應有良好的氣密性。流量計量裝置位于抽氣泵前時(shí)，氣路的氣密性要求是按
6. 3. 9. 1條的方法檢測，當系統的負壓為13 kPa時(shí)，1 min內系統負壓下降應不超過(guò)0.15 kPa。流量計量 裝置位于抽氣泵后時(shí)，抽氣泵前氣路的氣密性要求同前。泵后氣路的氣密性要求是按6. 3. 9. 2條的方法 檢測，當對泵后氣路施加2 kPa正壓時(shí)，lmin內壓力不變。
4工作環(huán)境
采樣器應能在一 10?45P,相對濕度＜85%的環(huán)境中正常工作。
5-5安全性
在10?35P,相對濕度W85%條件下，采樣器電源端子對機殼及采樣管外殼的絕緣電阻應不小于 20 MQ。
5.6儀器噪聲
釆樣器正常工作時(shí)，平均聲級噪聲應不大于70 dB (A)o
5-7平均無(wú)故障時(shí)間(MTBF)
采樣器正常工作時(shí)，平均無(wú)故障時(shí)間應不小于1000 ho
6認定檢測頊目的試驗方法
6.1檢測條件
V1檢測環(huán)境要求
環(huán)境溫度：10-30°Co
相對濕度：W85%。
大氣壓力：86?106 kPa。
1-2供電電壓
AC220 V±10%,頻率 50 Hz。
2檢測用設備
c. 2-1 調壓器：0-250 V, 5000 VA0
6.2.2電壓表：500V，精確度應不低于L5%。
6- 2-3干式或濕式累計流量計：最小分度值應不大于0.01 L,精確度應不低于1%。
6.2.4皂膜流量計：精確度應不低于1%0
6.2.5熱電偶或熱電阻溫度計：一50?40（rc,示值偏差應不大于±2-C。
6.2- 6電子秒表：分辨率應不大于o. 01 So
6.2.7精密溫度計：。?lotrc,最小分度值應不大于o.rc0
6. 2-8氣壓表：86?106. 5 kPa,最小分度值應不大于0. 1 kPa。
9通風(fēng)干濕表：測量范圍10%?100%,溫度最小分度值應不大于0- 2°CO
6- 2-10 兆歐表：電壓 500 V, 0?500MQ。
6. 2.11 U型壓力計M最小分度值應不大于10Paa
6. 2-12聲級計：精確度應不低于2%。
6.3性能檢測
1外觀(guān)
用目視和手動(dòng)檢查。
6.3.2采樣管
6- 3- 2-1外觀(guān)、結構用目視和手動(dòng)檢査。
6- 3- 2- 2加熱保溫裝置
將采樣管加熱到4.1.4條中規定的控制溫度，用熱電偶（阻）溫度計測量采樣管前端過(guò)濾器后15? 20 cm處，加熱段中部，采樣管出口前15-20 cm處溫度，用電壓表測量加熱電源電壓。
6.3- 3導氣管
6- 3-3-1外觀(guān)、結構用目視和手動(dòng)檢査。
6. 3. 3.2加熱保溫裝置的溫度檢定與采樣管相同。
6.3.4吸收裝置
6- 3-4-1外觀(guān)、結構用目視和手動(dòng)檢査。
6- 3- 4-2多孔玻板吸收瓶阻力
將50 ml蒸饞水加入吸收瓶中，按吸收瓶，U型壓力計，干燥器，帶有流量調節閥的轉子流量計，抽 氣泵的順序連接，確保氣路不漏氣。啟動(dòng)抽氣泵，測量0. 5 L/min抽氣流量下，多孔玻板吸收瓶的阻力。 6. 3-5流量計量裝置
6.3.5.1外觀(guān)用目視檢查
6.3. 5. 2抽氣能力
6.3.5.21負載流量
按皂膜流量計，阻力調節裝置，干燥器，采樣器的順序連接，確保氣路不漏氣。啟動(dòng)抽氣泵，調節 阻力調節裝置至采樣系統負載阻力為20 kPa,用皂膜流量計測出其流量。
6- 3- 5-2-2真空度
啟動(dòng)限流孔采樣器抽氣泵，調節采樣系統負載阻力為20 kPa,待限流孔出口真空表示值穩定后，讀 數。
注：以下檢測除專(zhuān)門(mén)說(shuō)明外，均為在220 V電壓下開(kāi)機，待采樣器運行15 min后，設備處于正常，穩定狀態(tài)下進(jìn)行。
6- 3-6流量波動(dòng)
6- 3- 6-1轉子流量計采樣器和限流孔采樣器
6. 3- 6-1-1按6. 3. 5.2.1條連接好系統。調節系統負載阻力至10 kPa,再調節采樣器轉子流量計至流量 為0.5L/min,用皂膜流量計測出流量（限流孔采樣器不調節流量），連續重復測定3次，取平均值。按 式（1）換算流量
6- 3- 6.1.2調節調壓器及阻力調節裝置，在電壓為242 V,阻力為9.0 kPa和電壓為198V,阻力為11 kPa情況下，分別用皂膜流量計測岀流量，連續重復測定3次，取平均值。按式（D換算流量Qe。
6- 3. 6-1-3流量計算
c _匕 293 B，一Pb
d— t * 273-R * 101 325
式中* Q』-——皂膜流量計換算成20°C, 101 325 Pa條件下的流量，L/min；
咯一皂膜流量計上、下兩刻度間的體積，L；
I——皂膜由下刻度上升到上刻度間的時(shí)間，min；
Ba~ -大氣壓力，Pa；
t*——測定時(shí)環(huán)境溫度，°C；
尸球一根據環(huán)境溫度以査得飽和水蒸氣壓力，Pa；
i S, 1, 2。
——皂膜流量計作標準流量計或電壓220 V,系統負載阻力10 kPa,皂膜流量計換算成2（TC, 101 325 Pa條件下流量，L/min；
Q…一電壓242 V,系統負載阻力9. 0 kPa,皂膜流量計換算成2CVC, 101 325 Pa條件下的流量，\」 min；
Ql 電壓198V,系統負載阻力11 kPa,皂膜流量計換算成20°C, 101 325 Pa條件下的流量，L/ min。
6- 3- 6- 2累積流量計采樣器
6- 3. 6. 2-1干式累積流量計采樣器
按阻力調節裝置，干燥器，采樣器，U型壓力計順序連接。調節系統負載阻力至10 kPa,再調節 采樣器轉子流量計至流量為0.5L/min,記錄累積流量計指示的氣溫、壓力和采氣5 L所用的時(shí)間，連續 重復測定3次，取平均值。按式（2）換算流量
按6. 3. 6. 2.1條a連接好系統，電壓和系統阻力調節與6. 3. 6.1. 2條相同，記錄累積流量計指示 的氣溫、壓力和采氣5 L所用的時(shí)間，連續重復測定3次，取平均值。按式（2）換算流量Qn、
6- 3- 6-2-2濕式累積流量計采樣器
與6. 3. 6. 2. 1條a相同，按式（3）換算流量
與6.3. 6. 2.1條b相同，按式（3）換算流量Qw】、Q心
6- 3- 6. 2- 3流量計算
C — Kd . Ud 273 且+已
Ql —L * 273+幻? 101 325
c & . 293 Ba+Fw_Pw e
@兩_ t. , 273+七. 101 325
式中：Qi、-一分別表示干式累積流量計換算成標準狀態(tài)下（0°C, 101 325 Pa）和濕式累積流量計換 算成20-C, 101 325 Pa條件下流量，L/min；
玦、Kw—分別表示干式累積流量計和濕式累積流量計的校正系數；
Vd, Vw——分別表示干式累積流量計和濕式累積流量計的計量體積，L；
t 累積流量計的計量時(shí)間，min；
￡d、$w——分別表示干式累積流量計和濕式累積流量計指示的氣溫，°C；
已、P?——分別表示干式累積流量計和濕式累積流量計指示的壓力，Pa；
i S, 19 2? no
Qu、Q?——分別表示干式累積流量計作為標準流量計或電壓220 V,系統負載阻力10 kPa,干式 累積流量計換算成標準狀態(tài)下(0°C, 101 325 Pa)和濕式累積流量計作為標準流量計 或電壓220 V,系統負載阻力10 kPa,濕式累積流量計換算成20°C, 101 325 Pa條件 下的流量，L/minj
Qh、Qi——分別表示電壓242 V,系統負載阻力9. 0 kPa,干式累計流量計換算成標準狀態(tài)下
101 325 Pa)和濕式累積流量計換算成20°C,101 325 Pa條件下的流量,L/min； &W2——分別表示電壓198 V,系統負載阻力11 kPa,干式累計流量計換算成標準狀態(tài)下(O°c,
101 325 Pa)和濕式累積流量計換算成20°C, 101 325 Pa條件下的流量，L/min；
Qn、Qvn——分別表示電壓220 V,系統空載條件下，干式累積流量計換算成標準狀態(tài)下(0°C, 101 325 Pa)和濕式累積流量計算成2(TC, 101 325 Pa條件下的流量，L/min0
6- 3- 6.3流量波動(dòng)計算
按式(4)計算流量波動(dòng)值& (%),并列表2說(shuō)明。
& = ^^X100% (4)
式中：& ―流量波動(dòng)值，%;
Q 分別表示 Qzs、d、Qws, L/min；
Q 分別表Zj\ Qil ■> Qz2、Qdl、QdZ-> Qw］、Qw2 ’ L/min。
表2流量波動(dòng)計算公式
采樣器 名稱(chēng)
轉子流量計采樣器 或限流孔采樣器
累積流量計采樣器
干式
濕式
計算公式
Qn —d
Q 我 ~~Q"
Qdi—Q.
Qds
Qd2—Ode
Qds
Qw2 —~Qwn
6- 3- 7流量計量誤差
6- 3- 7-1限流孔采樣器
按6. 3. 5. 2.1條連接好系統，調節系統負載阻力至與采樣器生產(chǎn)廠(chǎng)標定流量時(shí)相同的阻力，用皂膜 流量計測出流量。連續重復測定3次，取平均值。按式(1)換算流量
6- 3. 7. 2累積流量計采樣器
6- 3. 7.2-1干式累積流量計采樣器
a.用干式累積流量計作標準流量計。按干燥器、U型壓力計、標準流量計、采樣器、U型壓力計的 順序連接。調節采樣器轉子流量計至流量為6 5 L/min，記錄標準流量計指示采氣體積5 L所用的時(shí)間， 采樣器累積流量計指示的采氣體積和指示的氣溫、壓力。連續重復測定3次，取平均值。按式(2)換算 流量 Qds、Qin
用濕式累積流量計作標準流量計。按U型壓力計、標準流量計、干燥器、采樣器、U型壓力計的 順序連接。按式(2)和式(3)換算流量Qn和其余與6. 3. 7. 2. 1條a相同。
6- 3- 7- 2. 2濕式累積流量計采樣器
a.用干式累積流量計作標準流量計。按式(2)和式(3)換算流量Qs和Qwn,其余與6. 3. 7. 2.1條
a相同。
b-用濕式累積流量計作標準流量計。按式（3）,換算流量Q?、Qwn,其余與6. 3. 7. 2. 1條b相同。 6.3.7. 3轉子流量計采樣器
與6.3. 7. 2. 1條a、b相同，采樣器后不連U型壓力計，記錄標準累積流量計10 min計量的采氣體 積、氣溫和壓力；轉子流量計前的氣溫和壓力。連續重復測定3次，取平均值，并分別按式（2）、式 （3）和式（5）換算流量Q,、Qg和Q”
Ba + 巳
273+4
式中：Q,——經(jīng)校準后標準狀態(tài)下轉子流量計的流量，L/min；
K.—轉子流量計的校正系數；
Q,——轉子流量計的指示流量，L/min；
R——轉子流量計前氣體壓力，Pa； 畠一一轉子流量計前氣體溫度，°C。
6.3- 7- 4流量計量誤差計算
按式（6）計算示值誤差免（%）,并列表3說(shuō)明。
機= 5^X100%
式中：&——示值誤差，%;
Q 分別表示 Qzb、d、Qz I - 073<^s, L/min；
Q.——分別表示Qp ［限流孔采樣器生產(chǎn)廠(chǎng)（換算成2（rc, 101 325 Pa條件下）標定流量］,
1. 073d, Qwn, Qs, 1- 073Qra> L/mino
表3示值誤差計算公式
采樣器
限流孔
累積流量計采樣器
轉子流量計
名稱(chēng)
采樣器
干式
濕式
采樣器
標準流量
皂膜流量計
干 式
濕 式
干 式
濕 式
干 式
濕 式
計名稱(chēng)
累積流量計
累積流量計
累積流量計
累積流量計
累積流量計
累積流量計
計算
Qp—Q
Qk 1.073d
Qwn — Qm
1. 073。一
公式
Qds
1. 073Q&
Qw,
注：談=1面3
6- 3-8重復性
重復性用相對標準偏差S表示。
&3.&1用皂膜流量計檢測
按皂膜流量計，干燥器，采樣器（累積流量計采樣器除外）順序連接。調節采樣器轉子流量計至流 量為0.5 L/min （限流孔采樣器不調流量），用皂膜流量計，分別連續獨立測定6次，計算流量的重復性
6.3.8. 2用累積流量計檢測
按標準累積流量計、干燥器、采樣器順序連接。調節釆樣器轉子流量計至流量為0.5 L/min （限流孔 采樣器不調流量），記錄標準累積流量計指示采氣體積5 L所用的時(shí)間，分別連續獨立測定6次，計算施 量的重復性
6- 3- 8- 3重復性計算
按式（7）計算流.量重復性
式中：&——重復性，％；
標準流量計第，次測定流量，L/min；
Q,——標準流量計”次測定的平均值，L/min；
?——重復測定次數。
6- 3-9氣密性
6. 3.9.1流量計量裝置放在抽氣泵前的采樣器
將采樣器連接好，保證整個(gè)氣路暢通，將采樣管入口封閉，啟動(dòng)抽氣泵，待入口真空表負壓指示到 13 kPa時(shí)，立即關(guān)閉泵電源，停止抽氣，此時(shí)入口真空負壓仍繼續上升至最大值，然后開(kāi)始下降返回至 13 kPa時(shí)，關(guān)閉泵進(jìn)氣口橡皮管，記錄1 min內真空表負壓讀數下降值。
6- 3- 9- 2流量計量裝置放在抽氣泵后的采樣器
抽氣泵前氣路氣密性的檢測方法與6- 3- 9. 1條相同，抽氣泵后氣路氣密性的檢測方法為，在流量計 量裝置出口接一個(gè)三通，其一端接U型壓力計，另一端接橡皮管。檢測時(shí)，切斷抽氣泵進(jìn)口通路，由三 通的橡皮管端壓入空氣，使U型壓力計水柱壓差上升到2 kPa,堵住橡皮管進(jìn)口，記錄1 min內U型壓 力計中液面差的變化。
6- 3-10絕緣電阻
在符合檢測要求的環(huán)境條件下，儀器不通電，用500 V (DC)兆歐表的一端接至電源插頭的相、中 聯(lián)線(xiàn)上，另一端接到儀器機殼的接地端上，加上500 V直流電壓，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，持續5 S后測量絕緣電 阻。用相同的方法將兆歐表的另一端接到采樣管外殼上，測量絕緣電阻。
6- 3-11平均無(wú)故障時(shí)間(MTBF)
在系統負載阻力為10 kPa,流量為0. 5 L/min條件下，按GB 5080—85《設備可靠性試驗》國家標 準進(jìn)檢測。
6- 3-12儀器噪聲
在系統負載阻力為10 kPa,流量為0.5 L/min條件下，按GB 3768-83 ?噪聲源聲功率級的測定-… 簡(jiǎn)易法》國家標準進(jìn)行檢測。
1認定檢測頊目
認定檢測項目列表4。
表4認定檢測項目
項 目
指 標
試驗方法
外觀(guān)及采樣管、連接管 吸收裝置結構
合格
用目視和手動(dòng)檢査
干燥器
容積2200 cm3
容積法
加熱保 溫裝置
采樣管 導氣管
130±10°C
150±10°C
140°C以上
見(jiàn) 6. 3. 2. 2 條 見(jiàn) 6- 3. 3. 2 條
吸收瓶玻板阻力
5- 0士 0. 7 kPa
見(jiàn) 6. 3. 4. 2 條
抽氣 能力
負載流量
系統負壓20 kPa,流量2L0 L/min
見(jiàn)6?3?5.2條
真空度
系統負壓20 kPa,真空度2 70 kPa
見(jiàn) 6. 3. 5. 2 條
續表
項 目
指 標
試驗方法
流量 指標
流量波動(dòng)
M±5%
見(jiàn)6.3.6條
流量計量精確度
W2.5%
見(jiàn)6. 3. 7條
重復性
W2%
見(jiàn)6.3.8條
氣密性
系統負壓13 kPa時(shí)，1 min內負壓下降W 0- 15 kPa；正壓2 kPa, 1 min內壓力不變
見(jiàn)6.3.9條
絕緣電阻
>20 Mn
見(jiàn)6. 3. 10條
平均無(wú)故障時(shí)間（MTBF）
>1 000 h
見(jiàn)6. 3. 11條
儀器噪聲
M70dB (A)
見(jiàn)6. 3.12條
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